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高精度加熱臺，精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

電容烘箱，可程式工業(yè)烘箱技術(shù)先進(jìn)、設(shè)備性能穩(wěn)定、使用可靠，操作簡單，維修方便，同時(shí)考慮 方案的經(jīng)濟(jì)性和可實(shí)施性，結(jié)合試品特點(diǎn)和試驗(yàn)程序?qū)嶋H情況，實(shí)現(xiàn)低投入高產(chǎn)出。

充氮PI烤箱，PI充氮烤箱用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。

晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦渚A退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

無氧烘箱，智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式，系統(tǒng)并自動將制程寫入溫控器，達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載，避免人員制程選擇操作錯(cuò)誤問題；

小型恒溫恒濕箱，半導(dǎo)體高低溫濕熱試驗(yàn)箱可以用來確認(rèn)產(chǎn)品在溫濕度氣候環(huán)境條件下儲存、運(yùn)輸以及使用適應(yīng)性。

真空無氧烘箱，高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預(yù)處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。