射精视频-漫漫漫画免费版在线阅读-中文字幕人妻A片免费看-来一水AV@lysav

產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS烤箱 > 桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強(qiáng)光刻膠和晶圓的粘附力。

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱使用工藝

  光刻--就是將掩膜版上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到涂有一層光刻膠的晶圓表面的工藝過(guò)程。典型的光刻全過(guò)程為:

晶圓表面預(yù)處理一涂膠(去邊)一前烘一 (對(duì)位) 曝光一PEB 烘一顯影一后烘一顯檢(測(cè)量)

   以上步驟中的第1步表面預(yù)處理就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理(可利用親水/疏水理論對(duì)其進(jìn)行解釋。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過(guò)HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。通常的方法是使用氣相沉積的方法改變表面特性,一般采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強(qiáng)光刻膠和晶圓的粘附力。

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱涂布方法

   JS-hmds90烘箱采用真空蒸鍍的方法涂布HMDS化合物。HMDS烘箱在高溫條件下,達(dá)到真空狀態(tài)后開(kāi)始涂布工藝,涂布完成后烘箱內(nèi)部充入N2,達(dá)到常壓后方可開(kāi)門。

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶:HMDS儲(chǔ)液量1000ml 

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個(gè)工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄

保護(hù)裝置: 低液位報(bào)警,HMDS藥液泄漏報(bào)&警,超溫保護(hù)并斷開(kāi)加熱,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)等


小型HMDS真空烤箱增粘處理的注意事項(xiàng):

1)預(yù)處理完的硅片應(yīng)在一定的時(shí)間內(nèi)盡快涂膠,以免表面吸附空氣中的水分,降低增粘效果。但同時(shí)也要充分冷卻,因硅片的溫度對(duì)膠厚有很大的影響;

2)反復(fù)預(yù)處理反而會(huì)降低增粘效果;

3)HMDS 的瓶蓋打開(kāi)后,其壽命有限。


COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱等,歡迎來(lái)電咨詢桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱詳細(xì)資料等信息
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號(hào)
成人欧美一区二区三区黑人 | 18禁男女爽爽爽午夜网站免费| 久久久久久人妻一区二区三区 | 99久久国产热无码精品免费| 欧美日韩欧美| 亚洲精品白浆高清久久久久久| 韩国三级中文字幕HD久久精品 | 国产精品污WWW在线观看| 中国老熟女重囗味HDXX| 欧美大荫蒂AV高潮| 精品午夜福利在线观看| 苍井空AV成人片免费观看| 精品亚洲一区二区三区四区五区| 人体张悠雨全身光一丝不| 人人爽久久涩噜噜噜AV| 麻花豆剧国产MV在视频播放| 久久久无码精品亚洲日韩啪啪网站| 性孕交大肚子孕妇| ASS白嫩白嫩的少妇PICS| 少妇又色又紧又爽又刺激视频| 国产美女自慰在线观看| 精品久久久久久无码国产| 欧美高清性色生活片免费观看| 亚洲老熟女AV一区二区在线播放 | 久久夜色精品国产| 国产亚洲精品久久久久久无码网站| 人人妻人人澡人人爽精品日本 | 朋友的妈妈在线观看| 中文字幕无码日韩专区免费| 日韩AV无码久久一区二区| CHINESE老女人老熟妇HD| 人色偷偷色AV噜噜狠狠99| 国产亚洲精品精华液| 杨门十二寡妇肉床艳史电影| 99RE久久精品国产| 精品欧美А∨无码黑人| 久久亚洲AV午夜福利精品一区| 小浪货腿张开水好多呀H| 人体内射精一区二区三区| 极品少妇被猛得白浆直流草莓视频| 高潮H跪趴扩张调教男男视频|