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電子無塵烤箱，電子潔凈烘箱 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要，且需要多次烘烤。

工業(yè)烘箱，工業(yè)無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

Class1000烤箱，千級無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。 應(yīng)用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具退火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求。

無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

潔凈烘箱定做，Class1000無塵烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

千級烘箱，千級無塵烘箱是一種用于對于生產(chǎn)過程中對潔凈度高要求的加熱烘烤設(shè)備，本產(chǎn)品具有安全性好，潔凈度高,節(jié)能效果優(yōu)，保溫性佳，溫度均勻性好。大多應(yīng)用于烘烤光學(xué)、光電、光纖,精密電子及醫(yī)藥器材等欲烘烤物品的烘干或溫升處理等。

無塵烘箱，MES百級烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中的堅膜工藝，也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。